核心产品

自主研发的高端半导体无损检测装备,助力半导体装备国产化升级

超声波扫描显微镜 MicroSAM 350

高精度超声波扫描显微镜,适用于功率器件、晶圆键合、复合材料等领域的缺陷检测与质量分析。

功率器件晶圆键合复合材料
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超声波扫描显微镜 MicroSAM 350

超声波扫描显微镜 MicroSAM 400

高性能超声波扫描显微镜,面向先进封装、高端键合、精密器件的高阶失效分析与研发验证。

先进封装功率器件高端键合精密器件
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超声波扫描显微镜 MicroSAM 400

全自动晶圆键合超声波扫描系统 AX Wafer 300(In-line)

全自动在线式晶圆键合检测系统,专为 Fab 产线在线全检与批量质控设计。

先进封装量产晶圆键合量产精密器件
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全自动晶圆键合超声波扫描系统 AX Wafer 300(In-line)

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