返回产品列表
超声波扫描显微镜 MicroSAM 350
高精度超声波扫描显微镜，适用于功率器件、晶圆键合、复合材料等领域的缺陷检测与质量分析。紧凑集成机身，部署灵活，适配常规实验室工位。
应用领域
功率器件：IGBT模块、常规半导体封装缺陷检测
晶圆键合：通用W2W、D2W基础键合工艺质控
复合材料：陶瓷基板、液冷板、结构材料空洞/分层抽检
适用场景
实验室日常质控、中小批量抽检、基础工艺验证
设备特点
紧凑集成机身，占地小、部署灵活，适配常规实验室工位
直线电机高速驱动，±3μm定位精度，兼顾检测效率与稳定性
自带碰撞预警与安全制动，有效防护精密待测样品
标配AI智能分析，自动缺陷识别、着色、量化统计
支持A/B/C扫、托盘扫、多重门限扫、表面跟踪扫等多模式检测
防腐防震底座，抗环境干扰，保障长期稳定检测
客户案例
实际检测效果展示
IGBT模块内部缺陷检测
清晰呈现IGBT模块内部焊点分布与潜在缺陷区域
陶瓷基板分层检测
多区域分层缺陷精确定位与量化分析
功率器件空洞率分析
AI智能分析自动标注缺陷区域并计算空洞率，满足车规级可靠性要求